換氣次數是淨化車間決定潔淨度水平的主要參數

　　淨化車間具體工藝對溫度的要求，由於加工精度越來越精細，所以對溫度波動範圍的要求越來越小；要求濕度值一般較低，因為人出汗以後，對產品將有汙染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

　　濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生鏽。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把矽片表麵粘著的灰塵化學吸附在表麵耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低於30%時，又由於靜電力的作用使粒子也容易吸附於表麵，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對於矽片生產*溫度範圍為35—45%。

　　換氣次數是通入室內的潔淨空氣量相當於房間體積的倍數，其單位是次/h。如果一小時內通入的空氣量和房間體積一樣，換氣次數就是1次/h，以此類推，換氣次數是亂流潔淨室決定潔淨度水平的主要參數。

　　換氣次數越大，潔淨度級別越高。

　　換氣次數可以根據要求的空氣潔淨度級別、室內人數、房間麵積、室內其他發塵量和新風比通過公式求出來，特別是動態條件下更需要針對具體條件進行計算。

　　淨化車間壓差控製的基本原理是控製送風量、回風量和排風量。當送入淨化車間內的空氣量適當的大於回風和排風量時，室內則可維持一定的正壓值。此時，在室內外靜壓差的作用下，通過圍護結構不嚴密處向外滲漏的風量與機械進出風量的差額相等。

　　壓差維持的難題在於機械送風量與出風量是動態變化的。對於潔淨空調係統來說，過濾器積塵會造成新風、送風管路阻力增加，從而影響風量，排風設備的時開時停也會導致排風量的變化；此外，與樓道、室外相鄰還會因熱壓、風壓的變化影響房間的壓差。因此潔淨室的壓差值需要經常進行檢查，並依次對新、送、回、排風通路的閥門作出相應的調整。