如何控製淨化車間的溫濕度？

　　具體工藝對溫度的要求以後還要列舉，但作為總的原則看，由於加工精度越來越精細，所以對溫度波動範圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與矽片的熱膨脹係數的差要求越來越小。直徑100um的矽片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以後，對產品將有汙染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

　　空氣潔淨度等級標準及規範

　　經濟和科技發達的國家和地區都有自己的空氣潔淨標準和規範標準，都規定了有關的潔淨度等級，例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國於1984年頒布《潔淨廠房設計規範》（GBJ73-84），1996年該規範進行了較大的修改，1990年頒布《潔淨室施工及驗收規範》（JGJ71-90）以指導施工和驗收的重要文件。目前，該規範在重新修訂中。

　　大部分淨化車間尤其電子工業用的潔淨廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內的溫、濕度有嚴格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動範圍也有嚴格的要求。因此，在淨化空調係統的空氣處理上要采取相應的措施，例如：夏季要降溫、去濕（因為夏季室外空氣是高溫、高濕的），冬季要加熱加濕（因為冬季室外空氣是寒冷幹燥的，室內濕度過低會產生靜電，靜電對電子產品的生產是致命的）。