淨化車間，也可以稱為淨化車間或清淨室。它是汙染控製的基礎。沒有淨化車間，汙染敏感零件不可能批量生產。那麽淨化車間是由哪幾部分組呢？
淨化車間共有五部分組成：
1、隔間
淨化車間隔間分為三大部分,更衣室,千級區和百級區,更衣室與千級區,千級區和百級區均設風淋室(airshower),淨化車間與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入淨化車間時,首先要經過風淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入淨化車間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋,達到落塵的效果。
2、風係統風係統流程圖
係統采用的是全新風空調箱+FFU係統：
全新風空調箱結構
FFU:(FANFILTERUNIT)即風機和過濾器
千級區過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%。
3、水係統水係統流程圖
冰水係統分為一次側和二次側.
一次側冰水水溫7-12度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17度供給幹盤管係統.一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.
板式換熱器原理
幹盤管:不結露的盤管,因淨化車間溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入淨化車間,所以進幹盤管的冰水溫度在12-14度.
4、控製係統(DDC)溫度:幹盤管係統控製
濕度:空調箱調節通過感測的信號,控製三通閥開度來調節空調箱盤管進水量。
正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量。
5、其他係統
不隻是空調係統,淨化車間係統中還包括有真空,空壓,氮氣,純水,廢水,二氧化碳係統,製程排氣係統,
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