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詳細盤點潔淨無塵室的基本知識

更新時間:2021-11-16      點擊次數:2965
 
  潔淨無塵室亦稱為無塵室,潔淨室或無塵車間。它是汙染控製的基礎。沒有無塵潔淨室,汙染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2裏麵,無塵潔淨室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控製空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔淨度級別。
 
  潔淨無塵室的基本常識:
 
  一、無塵潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給予特別設計建成的無塵潔淨房間。
 
  二、無塵潔淨室的原理。潔淨室是利用HEPA、空氣淨化設備,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分幹淨。然而潔淨室內除了人以外,尚有機器等之發塵源,這些發生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔淨空間,因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
 
  三、無塵潔淨室中的三塵。無塵潔淨室有三大原則:禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔淨室的緩衝通道之一,是控製帶塵的最好淨化設備之一,它可以最大限度地減少員工進出無塵潔淨室所帶來的汙染問題。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界汙染和未被淨化的空氣進入無塵潔淨區域,達到生產車間所要求的生產潔淨環境。
 
  四,無塵潔淨室最主要之作用在於控製產品(如矽芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間我們稱之為無塵潔淨室。按照國際慣例,無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵,而是控製在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對於光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負麵影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
 
  五.每立方米將小於0.5微米粒徑的微塵數量控製在3500個以下,就達到了國際無塵標準的*。應用在芯片級生產加工的無塵標準對於灰塵的要求高於*,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控製在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
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