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一、 淨化工程的分類
1.層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nei) ,並由高架地板或兩(liang) 側(ce) 隔牆板回風。此型式適用於(yu) 潔淨室等級需定較高的環境使用,一般其潔淨室等級為(wei) Class 1~100。可以分為(wei) 以下,兩(liang) 種形式:
1)垂直層流式:房間天花板*以過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔淨度,在製程中或工作人員所產(chan) 生的塵埃可快速排出室外而不會(hui) 影響其它工作區域。
優(you) 點:管理容易,運轉開始短時間內(nei) 即可達穩定狀態,不易為(wei) 作業(ye) 狀態或作業(ye) 人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
2)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之回風係統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側(ce) 汙染較嚴(yan) 重。
優(you) 點:構造簡單,運轉後短時間內(nei) 即可變成穩定。
缺點:建造費用比亂(luan) 流式高,室內(nei) 空間不易擴充。
2.亂(luan) 流式
空氣由空調箱經風管與(yu) 潔淨室內(nei) 之空氣過濾器進入潔淨室,並由潔淨室兩(liang) 側(ce) 隔間牆板或高架地板氣流非直線型運動而呈不規則之亂(luan) 流或渦流狀態。
優(you) 點:構造簡單、係統建造成本低,潔淨室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可並用無塵工作台,提高潔淨室等級。
缺點:亂(luan) 流造成的微塵粒子於(yu) 室內(nei) 空間飄浮不易排出,易汙染製程產(chan) 品。另外若係統停止運轉再激活,欲達需求之潔淨度,往往須耗時相當長一段時間。
二、淨化工程的行業(ye) 應用
隨著電子元器件向微小化方向發展,液晶麵板已經升級至第八代,行業(ye) 需求非常巨大。淨化工程是一個(ge) 應用行業(ye) 非常廣泛的基礎性配套產(chan) 業(ye) ,目前在電子信息、半導體(ti) 、光電子、精密製造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴塗等眾(zhong) 多行業(ye) 均有應用,並根據行業(ye) 的精密與(yu) 無塵要求,等級差別也較大。淨化車間另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chan) 車間,物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。
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